分光干涉式激光位移计

产品阵容

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多层膜厚测量仪

做到多层高层膜厚, 按照近红外光・也没有害处, 即时百度在线探测,一分钟1000次的采样系统帧率,为现如今的膜厚衡量仪的供给新的几率性。

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SI-F 系列 - 微型传感头型分光干涉式 激光位移计

领域里超精致型感应器器头,高水准可靠性强,精密度,解决处理了内嵌光学零件加工感应器次的升温方面,也并不受电滋背景噪声作用。

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SI-F80R 系列 - 分光干涉式晶片厚度计

用到近红外 SLD,也许已贴附 BG 带也可精确在线测量晶片任何的宽度。也许晶片界面出现由纹路而带来的有明显差异性,也可进行更准的生产方式线上教育精确在线测量。

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